本生产线用于触摸屏黄光制程中的显影、蚀刻、退膜等过程中的清洗工况,可以有效去除有机污染物,降低接触角,增加成膜能力。去除率可达到95%以上。产线设备设计精简,占地面积小,节能,降低化学药物损耗。
功能特色
清洗制程设备:丝印前清洗、PR前清洗、PI前清洗、镀膜前清洗、镀膜后清洗、切割后清洗
显影制程设备:(C/F)黄光制程显影
蚀刻制程设备:金属层蚀刻、透明导电层ITO蚀刻、二氧化硅SiO2蚀刻
退膜制程设备:金属层蚀刻、透明导电层ITO蚀刻、二氧化硅SiO2退膜
清洗效果:有效去除Particle、粉尘、有机杂质,去除率>95%以上(依不同洗净配置需定),有效去除有机污染物,降低接触角,增加成膜能力
特殊本体设计:设备内部无交叉污染或腐蚀及较低的玻璃破损率,可有效减少设备停机时间,增加产出能力
设备尺寸设计:占地面积小,减少客户厂房用地面积,降低总拥有成本
零件模块化设计:高自制率及自主设计能力,减少客户零组件库存压力及增加维修便利性,缩短维修时间,减少总拥有成本
先进制程设计:节省纯水及药液消耗量,减低运转成本及响应绿色产品政策
工艺流程
入板 → 显影 → 新液洗 → 冲污水 → 循环水洗 → 检查 → 补偿蚀刻 → 蚀刻 → 循环水洗 → 检查 → 退膜 → 冲污水 → 循环水洗 → 酸洗 → 循环水洗 → 干板组合 → 出板
水洗过滤系统
高效过滤循环水的杂质、 防止板面二次污染
退膜过滤系统
去除率>95%以上
膜过滤系统
去除率>95%以上
输送系统
有效去除静电、无轮印
刷洗系统
特制毛刷可有清除板面污渍并不刮伤板面
毛刷系统
可视精密调整毛刷、 达到刷洗最佳效果
进口立式泵
独特的流道设计、噪音低、 效率高、易于维护
风刀过滤系统
HEPA高效过滤、方便拆装清洁
永磁变频离心式风机
节能、降噪、洁净无油污、运行稳定、安装简单